红外电磁屏蔽镀膜机

形式：立式前开门

内腔尺寸：Φ1200×Φ1200mm

真空系统：机械泵+罗茨泵+分子泵

极限真空：5.0E^-5pa

工件夹：立式旋转带摇摆

烘烤：碘钨灯加热300℃

离子源：美国进口（条形源）

电源：3相，380V，50Hz，约30KW