HF-700型箱式真空镀膜机
主要指标:
真空室:立式前开门。内膜Φ700×800,,304不锈钢;外壁通冷却水,内衬不锈钢防污板
真空系统:机械泵+扩散泵(或分子泵)+(可选加罗茨泵)
极限真空:3.0E-4pa
恢复真空:大气至4.0E-3pa≤15min
工作架:Φ640mm帽形工件盘等,扇形,行星
烘烤:上烘烤用进口管状加热器(下烘烤用碘钨灯加热);最高温度350℃,可调可控
蒸发源:电阻蒸发源或电子束蒸发源,功率10KW,数量2只
离子源:Φ12cm考夫曼(可选),进口
光学膜厚控制:光学专用电源;光学膜厚控制仪;光栅单色仪;波长范围380-1100nm;反射/透射
石英晶控:SQC310,低温单探头
电源:3相,380V,50Hz,约30KW