HF700DL-II型类金刚石沉积设备

（应用于红外光学器件）

真空室：卧式顶盖升降，内腔Φ700×500mm，,304不锈钢

真空系统：直联泵+F250分子泵

极限真空：2.0E-4pa

恢复真空：大气至5.0E-3pa≤15min

         Φ450mm水冷铜阴极靶和304阳极靶，靶间距（100-300mm）可上下调节

电源：进口RF（13.56MHz）电源，2.5KW可调

充气系统：2个前级储气瓶，2个后级混气瓶，配压力表；4路进气，流量控制及压强控制

温度测量：样品及阴极靶2套

操作系统：可自动和手动操作，工艺参数设置，完善的水电检测报警功能