HF-1300型箱式真空镀膜机

真空室：立式前开门。内膜Φ1300×1500，,304不锈钢；外壁通冷却水，内衬不锈钢防污板

真空系统：机械泵+罗茨泵+2台扩散泵+维持泵

极限真空：3.0E^-4pa

恢复真空：大气至4.0E^-3pa≤15min

工作架：Φ1220mm帽形工件盘等，扇形，行星

烘烤：采用进口管状加热器；最高温度350℃，可调可控

蒸发源：电阻蒸发源，2只E型电子枪

离子源：Φ12cm考夫曼（可选），进口

光学膜厚控制：光学专用电源；光学膜厚控制仪；光栅单色仪；波长范围380-1100nm;反射/透射

石英晶控：SQC310或IC6，低温单探头等

电源：3相，380V，50Hz，约60KW